針對(duì)含氟廢氣處理工藝選擇需綜合考慮廢氣成分、濃度、排放標(biāo)準(zhǔn)、經(jīng)濟(jì)性及資源回收需求等因素。以下是常見的處理工藝及其適用場(chǎng)景分析:
一、含氟廢氣類型與危害
含氟廢氣主要來源于:
主要危害:腐蝕設(shè)備、污染大氣、引發(fā)酸雨,部分氟化物(如HF)具有強(qiáng)毒性和生物累積性。
二、工藝選擇建議
1.酸性氟化物(HF、SiF?)
推薦工藝:濕法吸收+干法吸附組合
步驟:①一級(jí)處理:NaOH溶液噴淋(生成NaF溶液);
優(yōu)勢(shì):去除率>99%,適用于電解鋁廠、磷肥廠等高濃度場(chǎng)景。
2.含氟有機(jī)廢氣(CF?、HFCs)
推薦工藝:高溫焚燒+SCR脫硝
步驟:
優(yōu)勢(shì):滿足《危險(xiǎn)廢物焚燒污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18484)。
3.半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體(NF?、SF?)
推薦工藝:等離子體裂解+堿洗
步驟:
優(yōu)勢(shì):處理效率>98%,適用于低濃度、高價(jià)值氣體回收。
三、關(guān)鍵設(shè)計(jì)參數(shù)
濕法吸收:
液氣比(L/G):5~10 L/m³;
pH控制:8~10(防止設(shè)備腐蝕)。
干法吸附:
空塔氣速:0.3~0.6 m/s;
吸附劑更換周期:3~6個(gè)月。
燃燒法:
停留時(shí)間:≥2秒(確保完全分解);
燃燒溫度:≥1100℃(針對(duì)全氟化合物)。
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